一种射频器件量测系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN202011507991.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112698175A | 公开（公告）日 | 2021-04-23 |
| 申请公布号 | CN112698175A | 申请公布日 | 2021-04-23 |
| 分类号 | G01R31/26 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张棘勇;章景恒 | 申请（专利权）人 | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 代理机构 | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张晓薇 |
| 地址 | 430000 湖北省武汉市江夏区经济开发区藏龙岛梁山头村惠风同庆花园一期G17-S栋1-2层6室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种射频器件量测系统及方法，包括量测装置、探针台、数据存储服务器以及数据处理服务器，通过将所述探针台依次连接晶圆上的晶粒，在所述探针台连接所述多个晶粒中的目标晶粒时，通过量测装置获取目标晶粒的散射参数并传输至所述数据存储服务器，并使探针台连接下一个晶粒，然后通过数据存储服务器存储所述目标晶粒的散射参数，最后通过所述数据处理服务器根据预设的量测参数数据，对所述数据存储服务器中所述目标晶粒的散射参数进行处理，生成所述量测参数的参数数据，可使现有的量测设备能发挥更高的效率，从而无需投入更多相对昂贵的量测设备，既可满足产能的要求，也能解决现有量测系统造成的资源浪费和量测过程耗时长的缺陷。 |
