声波器件的制作方法及声波器件
基本信息
| 申请号 | CN202011243085.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112532199A | 公开（公告）日 | 2021-03-19 |
| 申请公布号 | CN112532199A | 申请公布日 | 2021-03-19 |
| 分类号 | H03H9/02(2006.01)I;H03H9/17(2006.01)I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 廖珮淳 | 申请（专利权）人 | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 代理机构 | 北京派特恩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 崔晓岚;张颖玲 |
| 地址 | 430205湖北省武汉市江夏区经济开发区藏龙岛梁山头村惠风同庆花园一期G17-S栋1-2层6室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开实施例公开了一种声波器件的制作方法及声波器件，所述声波器件包括谐振结构，所述方法包括：在衬底表面形成围绕器件区的连线层；其中，所述器件区用于设置所述谐振结构；在所述连线层表面形成导电的支撑结构；其中，所述支撑结构的高度大于所述谐振结构的高度；在所述支撑结构的顶部形成覆盖所述器件区的封装层；其中，所述封装层、所述支撑结构、所述连线层和所述衬底形成围绕所述器件区的密封腔体。 |
