单晶炉籽晶提升动态重心监测自平衡系统
基本信息
| 申请号 | CN202210194834.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114574951A | 公开（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申请公布号 | CN114574951A | 申请公布日 | 2022-06-03 |
| 分类号 | C30B15/28;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 尹嘉琦;曹玉宝;江佳飞;辛珊 | 申请（专利权）人 | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾虹路15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于单晶炉技术领域，具体的说是单晶炉籽晶提升动态重心监测自平衡系统，包括提升腔、从动带轮、安装板、上水平调整座和下水平调整座；所述提升腔下端固接从动带轮，从动带轮转动安装在安装板的上表面，安装板的下表面通过多个称重传感器连接上水平调整座，上水平调整座下方通过多个支撑柱连接下水平调整座；通过十字调平衡单元与称重传感器之间的配合，称重传感器反馈信号的差异判断重心偏移位置，称重传感器可采用轮辐式称重传感器，并由此实时监测整体提升腔下方提拉头是否处于平衡状态。 |
