上提拉开放式单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN202210175772.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114717649A | 公开（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申请公布号 | CN114717649A | 申请公布日 | 2022-07-08 |
| 分类号 | C30B15/26（2006.01）I;C30B15/30（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李方;王建波;尹嘉琦;江佳飞 | 申请（专利权）人 | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡苏元专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 214000江苏省无锡市锡山区锡北泾虹路15 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了上提拉开放式单晶炉，炉体包括主炉室和副炉室，主炉室内部设有与籽晶配合的坩埚，主炉室的顶部设有炉盖，炉盖设有通孔；副炉室设于主炉室的上方，副炉室内设有绳体，绳体的底部末端与籽晶相配合；热场组件与坩埚相配合；坩埚驱动组件能够驱动坩埚在主炉室内转动或升降；提升驱动组件能够驱动绳体在副炉室内转动或升降；炉盖与副炉室之间设有缓冲组件；炉盖上设检测窗，能够与视觉检测组件配合。本发明结构稳定，可保证晶体的物理特性，并能够实时观察晶体生长情况。 |
