一种连续加料硅单晶炉
基本信息
申请号 | CN202210231348.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114717644A | 公开(公告)日 | 2022-07-08 |
申请公布号 | CN114717644A | 申请公布日 | 2022-07-08 |
分类号 | C30B15/02(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 李万朋;逯占文;段世飞;孔奕人;杨永远;李阳 | 申请(专利权)人 | 连城凯克斯科技有限公司 |
代理机构 | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 214000江苏省无锡市锡山区锡北泾虹路15 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及硅单晶炉技术领域,具体为一种连续加料硅单晶炉,包括第一支撑座,所述第一支撑座的右侧固定设置有连接座,所述连接座的右侧固定设置有第二支撑座,所述第二支撑座的内部转动安装有转盘,所述第一支撑座的表面固定安装有炉体,所述炉体的上方固定安装有出料管,所述出料管的顶端设置有拉晶棒;所述拉晶棒的侧面固定连接有固定杆,所述固定杆端的下方设置有承托杆,所述承托杆右端的下方设置有顶板,所述顶板的底部固定连接有顶块。本发明的有益效果是:该连续加料硅单晶炉,在现有的基础上进行改进,利用装置上的同步加料和拉晶组件,使得装置能够在加料的同时自动拉晶,而且能够对多种不同的材料进行加料和自动补充材料。 |
