一种连续直拉单晶硅的制备方法及其产品
基本信息
| 申请号 | CN202210242601.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114703541A | 公开（公告）日 | 2022-07-05 |
| 申请公布号 | CN114703541A | 申请公布日 | 2022-07-05 |
| 分类号 | C30B15/20（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 刘海;彭亦奇;周子义 | 申请（专利权）人 | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 214000江苏省无锡市锡山区锡北泾虹路15 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种连续直拉单晶硅的制备方法及其产品，属于光伏与半导体硅片生产技术领域。本发明通过将坩埚内的硅原料加热熔融，再利用直拉单晶法进行单晶硅的生长；在单晶硅生长过程中，控制加料装置通过下料管向坩埚内持续添加硅原料，并利用高纯氩气辅助吹扫所述硅原料，使得硅原料落入坩埚内；在生长结束后，停止添加硅原料，将生长完成的单晶硅冷却后拆炉取出，得到单晶硅。本发明利用连续直拉法制备单晶硅，在进行单晶硅晶体生长的同时，持续向反应炉腔中添加硅原料，并利用高纯氩气持续吹扫下料管道，促使所述硅原料从下料管道落入反应坩埚内，避免了硅原料在管道中融化堵塞，提升了加料系统的稳定性。 |
