双结深光电二极管

基本信息

申请号 CN201922458935.5 申请日 -
公开(公告)号 CN211507661U 公开(公告)日 2020-09-15
申请公布号 CN211507661U 申请公布日 2020-09-15
分类号 H01L31/11(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I 分类 -
发明人 崔峰敏 申请(专利权)人 傲迪特半导体(南京)有限公司
代理机构 江苏致邦律师事务所 代理人 徐蓓;尹妍
地址 210034江苏省南京市栖霞区润华路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及双结深光电二极管,低掺杂的N型高阻硅衬底上设有高掺杂P型硅层,形成PN结,低掺杂的N型高阻硅衬底外环为高掺杂N型硅环,低掺杂的N型高阻硅衬底、高掺杂P型硅层、高掺杂N型硅环上沉积凹凸状碳纳米层;二极管硅晶片四角设有方形接触孔,与碳纳米层凸起处连通。本实用新型的双结深光电二极管,浅结和深结的结深分别为4μm和1.5μm,光谱峰值14000Å和4650Å,光谱响应灵敏度高。