首页/ 新昌县羽林街道东陈机械厂/ 专利详情

一种电子半导体加工用清洗装置

基本信息

申请号 CN201721038182.7 申请日 -
公开（公告）号 CN207425803U 公开（公告）日 2018-05-29
申请公布号 CN207425803U 申请公布日 2018-05-29
分类号 H01L21/67;B08B1/04;B08B3/08 分类 基本电气元件;
发明人 陆苗苗 申请（专利权）人 新昌县羽林街道东陈机械厂
代理机构 北京彭丽芳知识产权代理有限公司 代理人 彭丽芳
地址 312500 浙江省绍兴市新昌县羽林街道青山头村98号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种电子半导体加工用清洗装置，包括舱体和毛刷头，所述舱体的下方安装有连接转盘，且连接转盘的上下两侧设置有小孔，所述舱体的中间设置有转轴，所述连接转盘的下方四周安装有毛刷，所述舱体的上方左侧设置有碱性清洗液入口，且舱体的上方右侧设置有去离子水入口，所述毛刷的中间设置有毛刷腔，且毛刷的上面设置有毛刷孔，所述毛刷头的内侧安装有橡胶气球，所述毛刷的上面设置有螺旋体，所述毛刷头的外侧设置有刷体。该电子半导体加工用清洗装置，能够适应半导体上面凹凸不平的结构，可以对半导体进行细致的清洗，尤其是设有橡胶气球，可以对毛刷头进行挤压，从而让毛刷头上面的刷体对半导体进行清洗。