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新型晶圆半导体生产辅助设备

基本信息

申请号 CN202020123442.6 申请日 -
公开（公告）号 CN211707572U 公开（公告）日 2020-10-20
申请公布号 CN211707572U 申请公布日 2020-10-20
分类号 B08B3/10(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 俞伟;吴明 申请（专利权）人 浙江蓝特光学股份有限公司
代理机构 嘉兴中创致鸿知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 浙江蓝特光学股份有限公司
地址 314023浙江省嘉兴市秀洲区洪合镇洪福路1108号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及晶圆半导体技术领域，且公开了新型晶圆半导体生产辅助设备，包括清洗箱，清洗箱的内部设置有一个清洗框，清洗框的表面开设有漏水孔，清洗框的内壁上端铰接有一块矩形盖板，清洗框的上表面固定连接有把手，清洗框的底板上等距均匀固定连接有矩形挡板，该新型晶圆半导体生产辅助设备，通过电机的转动带动转轴的转动，转轴的转动带动凸轮的转动在配合弧形杆，从而可以使弧形杆进行上下移动，弧形杆的上下移动带动漂洗板的上下移动，漂洗板的上下移动的带动清洗框进行上下移动，从而对清洗框内部的晶圆进行上下抖动的清洗，通过这样漂洗的方式不仅可以使用大批量的清洗，还可以使晶圆清洗的更加干净。