高精密支撑掩膜版
基本信息
| 申请号 | CN201711298540.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107841710A | 公开（公告）日 | 2018-03-27 |
| 申请公布号 | CN107841710A | 申请公布日 | 2018-03-27 |
| 分类号 | C23C14/04;C23C14/24 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 唐军 | 申请（专利权）人 | 深圳浚漪科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州市南锋专利事务所有限公司 | 代理人 | 郑学伟;叶利军 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市坪山新区锦龙大道马峦创谷1栋3楼和2栋2楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高精密支撑掩膜版，包括板框、多个条形掩膜片及支撑膜网，多个条形掩膜片沿纵向依次紧贴设置，相邻两个条形掩膜片之间具有拼接间隙；每个条形掩膜片沿横向延伸且其两端焊接于板框的顶面，每个条形掩膜片上设有至少一个掩膜图案；支撑膜网位于多个条形掩膜片的下方且被固定于板框上，支撑膜网支撑多个条形掩膜片并覆盖各个拼接间隙但不遮挡各个掩膜图案。根据本发明实施例提供的高精密支撑掩膜版，既可以满大尺寸的玻璃基板镀膜要求，实现批量生产，提高生产效率，也可以满足显示器在批量生产过程中的良率及精度要求。此外，其使用寿命长，用户端的成本低。 |
