一种掩模板清洗系统
基本信息
| 申请号 | CN201410059568.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104152846B | 公开（公告）日 | 2016-08-17 |
| 申请公布号 | CN104152846B | 申请公布日 | 2016-08-17 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C25F7/00(2006.01)I;C25F1/00(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 唐军 | 申请（专利权）人 | 深圳浚漪科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州市南锋专利事务所有限公司 | 代理人 | 深圳浚漪科技有限公司 |
| 地址 | 518101 广东省深圳市坪山新区坪山街道沙湖社区锦龙大道南2-10号西 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种掩模板清洗系统，其具有第一清洗设备，用于清洗表面的有机材料残留物、第二清洗设备，用于清洗颗粒杂质和第一漂洗装置、第二漂洗装置，分别用于对经第一清洗设备和第二清洗设备清洗过的掩模板进行漂洗，最终将掩模板清洗干净，本发明不仅可有效提高清洗效果，而且可以减少清洗液的损耗，提高清洗液的利用率，从而降低清洗成本。同时，在清洗的过程中，本发明采用机械手对掩模板进行转运，可实现清洗过程的连续化和自动化控制，提高了清洗效率，并进一步降低了清洗成本。 |
