大尺寸掩膜基板的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201610352702.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105826469A | 公开（公告）日 | 2016-08-03 |
| 申请公布号 | CN105826469A | 申请公布日 | 2016-08-03 |
| 分类号 | H01L51/00(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 唐军 | 申请（专利权）人 | 深圳浚漪科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州市南锋专利事务所有限公司 | 代理人 | 郑学伟;叶利军 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市坪山新区坪山办事处沙湖社区锦龙大道南2-10号厂房三楼东边 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种大尺寸掩膜基板的制作方法，包括：提供多条横向膜片和多条纵向膜片；将多条所述横向膜片与多条所述纵向膜片纵横交错布置，以形成矩阵分布多个方形的蒸镀孔；通过张紧机将纵横交错布置的所述横向膜片和所述纵向膜片张紧，使得所述蒸镀孔的尺寸达到预定值；采用焊接工艺将张紧后的所述横向膜片和所述纵向膜片相对焊接固定，以形成所述掩膜基板。根据本发明提供的大尺寸掩膜基板的制作方法，可以形成大尺寸的掩膜基板，其取材方便，成本低，工艺简单，能够满足大尺寸显示器件的要求。此外，形成的掩膜基板上表面的平面度更高，达到更好的蒸镀效果，提高产品良率。 |
