高精密掩膜版
基本信息
| 申请号 | CN201711331823.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107815642A | 公开（公告）日 | 2018-03-20 |
| 申请公布号 | CN107815642A | 申请公布日 | 2018-03-20 |
| 分类号 | C23C14/04;C23C14/24 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 唐军 | 申请（专利权）人 | 深圳浚漪科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州市南锋专利事务所有限公司 | 代理人 | 郑学伟;叶利军 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市坪山新区锦龙大道马峦创谷1栋3楼和2栋2楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高精密掩膜版，包括板框、多个条形掩膜片及支撑膜网，板框的中央形成镂空区，镂空区的外围形成框沿，框沿上其中两相对边沿的顶面分别设有一条形槽，相邻两个条形掩膜片之间具有拼接间隙；每个条形掩膜片两端焊接于框沿上另外两相对边沿的顶面，每个条形掩膜片上设有掩膜图案；支撑膜网位于多个条形掩膜片的下方，支撑膜网上两相背的侧边分别延伸形成一焊接沿，两焊接沿分别焊接于两条形槽内；支撑膜网支撑多个条形掩膜片并覆盖各个拼接间隙但不遮挡各个掩膜图案。根据本发明提供的高精密掩膜版，既可以满大尺寸的玻璃基板镀膜要求，实现批量生产，提高生产效率，也可以满足显示器在批量生产过程中的良率及精度要求。 |
