高精度金属掩模板加工方法
基本信息
| 申请号 | CN201510708642.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105349947B | 公开（公告）日 | 2018-01-12 |
| 申请公布号 | CN105349947B | 申请公布日 | 2018-01-12 |
| 分类号 | C23C14/04;C23C14/24 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 唐军 | 申请（专利权）人 | 深圳浚漪科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州市南锋专利事务所有限公司 | 代理人 | 郑学伟;叶利军 |
| 地址 | 518101 广东省深圳市坪山新区坪山街道沙湖社区锦龙大道南2-10号西 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种高精度金属掩模板加工方法，包括提供一金属板框及一金属膜片，所述金属膜片具有相对的接触面和蒸镀面；将所述金属膜片水平置于所述金属板框上方，且保持所述蒸镀面朝下，并采用张紧机将所述金属膜片张平；采用焊接工艺将张平的所述金属膜片的外周沿焊接于所述金属板框上；采用蚀刻工艺在所述金属膜片上加工形成蒸镀孔，所述蒸镀孔自所述蒸镀面贯穿所述接触面。本发明可显著提高开设的蒸镀孔的尺寸精度，减少不良率和报废率，同时，大幅度降低生产成本。 |
