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一种音叉式结构MEMS陀螺仪

基本信息

申请号 CN201920440915.2 申请日 -
公开（公告）号 CN209446069U 公开（公告）日 2019-09-27
申请公布号 CN209446069U 申请公布日 2019-09-27
分类号 G01C19/5621（2012.01）I 分类 测量；测试;
发明人 王志; 周骏; 王龙峰; 山永启; 雷龙海 申请（专利权）人 四川知微传感技术有限公司
代理机构 成都行之专利代理事务所（普通合伙） 代理人 四川知微传感技术有限公司
地址 610000 四川省成都市高新区（西区）天辰路88号4栋三单元4层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种音叉式结构MEMS陀螺仪，包括：第一框架、第二框架、第三框架、第四框架、第一梁、第二梁、第三梁、第四梁、第五梁、第六梁、第七梁、第八梁、第九梁、第十梁、第十一梁、第十二梁、第十三梁、第十四梁、第一梳齿电极、第二梳齿电极、第三梳齿电极、第四梳齿电极、第五梳齿电极、第六梳齿电极、第七梳齿电极、第八梳齿电极、第九梳齿电极、第十梳齿电极、第十一梳齿电极、第十二梳齿电极、第十三梳齿电极、第十四梳齿电极以及第一锚点、第二锚点、第三锚点、第四锚点；该陀螺仪可有效抑制加速度和振动引起的测量误差，从而提高器件性能；该结构电极排布方式可抑制检测电极静电力的不利影响，也有利于提高器件的性能。