一种三明治式微加速度计
基本信息
| 申请号 | CN201920437394.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209460283U | 公开（公告）日 | 2019-10-01 |
| 申请公布号 | CN209460283U | 申请公布日 | 2019-10-01 |
| 分类号 | G01P15/125;G01P15/08 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 雷龙海;周骏;王龙峰;王志;山永启 | 申请（专利权）人 | 四川知微传感技术有限公司 |
| 代理机构 | 成都行之专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 四川知微传感技术有限公司 |
| 地址 | 610000 四川省成都市高新区(西区)天辰路88号4栋三单元4层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种三明治式微加速度计，所述微加速度计包括：从上到下的：上电极结构层、上键合接触区、中间电极结构层、下键合接触区、下电极结构层；上电极结构层设有与中间电极结构层键合的上键合接触区；下电极结构层设有与中间电极结构层键合的下键合接触区；上键合接触区与下键合接触区构成键合接触层；上电极结构层、中间电极结构层、下电极结构层在上、下键合接触区经熔融键合后构成自密封结构；其中中间电极结构层包括可动质量块；在很大程度上降低器件上、下电极结构层与中间电极结构层的寄生电容值，在极板间隙相同情况下，这将明显的提升三明治式微加速度计的信噪比特性。 |
