一种分时复用三轴加速度计及其控制方法
基本信息
| 申请号 | CN202010259468.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111538356A | 公开（公告）日 | 2020-08-14 |
| 申请公布号 | CN111538356A | 申请公布日 | 2020-08-14 |
| 分类号 | G05D13/62(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 魏全;李荣宽;周骏 | 申请（专利权）人 | 四川知微传感技术有限公司 |
| 代理机构 | 成都行之专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 四川知微传感技术有限公司 |
| 地址 | 610000四川省成都市高新区（西区）天辰路88号4栋三单元4层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种分时复用三轴加速度计及其控制方法，本发明包括X、Y、Z三个轴向的敏感结构、电容/数字转换前端电路、ΔΣ调制器后级电路、高压驱动反馈电路和比例积分控制电路；其中，X、Y、Z三个轴向的敏感结构的上下极板均接入2相时钟信号。本发明分时复用三轴数字加速度计结构简单，三个轴向的传感器仅使用一个电路芯片加上相应的时序控制就可完成三轴加速度计的功能。本发明采用直接电容到数字量的转换结构不用电容到电压、电压到数字量的转换过程，节省了电路功耗、降低了电路复杂度及电路易受环境影响的因素如温度及工艺偏差等方面的影响。 |
