一种低噪声MEMS加速度计
基本信息
| 申请号 | CN202010259467.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111551761A | 公开（公告）日 | 2020-08-18 |
| 申请公布号 | CN111551761A | 申请公布日 | 2020-08-18 |
| 分类号 | G01P15/125(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 王志;周骏;王龙峰;山永启;雷龙海 | 申请（专利权）人 | 四川知微传感技术有限公司 |
| 代理机构 | 成都行之专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 四川知微传感技术有限公司 |
| 地址 | 610000四川省成都市高新区（西区）天辰路88号4栋三单元4层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种低噪声MEMS加速度计，本发明的加速度计由结构层和衬底层组成，结构层包括质量块、梁、梳齿组和铆点；其中铆点均固定在衬底上，梳齿组及与之相连的铆点分布在质量块的内部；所述梁一端与质量块连接且梁的另一端与铆点连接，梁及与之相连的铆点分布在质量块的四周；所述梳齿组包括检测梳齿且检测梳齿为变面积梳齿。本发明通过采用变面积梳齿结构，降低阻尼从而减小布朗噪声。 |
