一种基于零位校正的微机械MEMS加速度计
基本信息
| 申请号 | CN201920791579.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209746002U | 公开（公告）日 | 2019-12-06 |
| 申请公布号 | CN209746002U | 申请公布日 | 2019-12-06 |
| 分类号 | G01P15/08（2006.01）; G01P15/125（2006.01）; G01P15/13（2006.01） | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 雷龙海; 周骏; 王龙峰; 王志; 山永启 | 申请（专利权）人 | 四川知微传感技术有限公司 |
| 代理机构 | 成都行之专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 四川知微传感技术有限公司 |
| 地址 | 610000 四川省成都市高新区（西区）天辰路88号4栋三单元4层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种基于零位校正的微机械MEMS加速度计，包括：基片，基片上设有氧化层，若干个锚点通过氧化层固定在基片上，氧化层上设有敏感器件层，敏感器件层包括：差动电容检测结构、加速度计闭环反馈电极结构、若干个悬臂梁、零位校正结构、敏感质量块、2个止挡结构、2个固定结构；通过对加速度计结构的设计可以校正结构由于加工误差、安装误差以及环境温度等变化带来的零位输出变化不一的问题，消除由于零位变化对器件稳定性、温度特性等性能造成的影响。 |
