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一种可在线更换籽晶的方法

基本信息

申请号 CN201610247987.6 申请日 -
公开（公告）号 CN105862121A 公开（公告）日 2016-08-17
申请公布号 CN105862121A 申请公布日 2016-08-17
分类号 C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 余剑云;李庆跃;李凯;张会选;徐峰 申请（专利权）人 黄山市东晶光电科技有限公司
代理机构 深圳市百瑞专利商标事务所（普通合伙） 代理人 黄山市东晶光电科技有限公司
地址 245200 安徽省黄山市屯溪区迎宾大道168号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了可在线更换籽晶的方法，使用一种泡生法蓝宝石晶体生长炉，包括如下步骤：打开电动挡板阀；将籽晶从主炉腔提升至副炉腔中；关闭电动挡板阀；打开冷却阀通入冷却气体；开启炉门更换籽晶；打开电动挡板阀并对主炉腔内部抽真空；下降籽晶杆重新引晶。上述泡生法蓝宝石晶体生长炉具有主炉腔和副炉腔，炉盖与副炉腔通过电动挡板阀隔开，在副炉腔左面设有冷却阀，右面设有开启副炉腔的炉门；籽晶杆安装在提拉系统上，并向下延伸依次穿过管体、副炉腔和炉盖，最终到达主炉腔的内部。本发明能够实现在线更换籽晶，具有能耗低、生产成本低的优点，与此同时可有效避免因籽晶问题无法引晶而耽误生产周期的发生，确保生产的连续性。