一种全自动数控稳定热场系统装置
基本信息
申请号 | CN201520924203.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN205115671U | 公开(公告)日 | 2016-03-30 |
申请公布号 | CN205115671U | 申请公布日 | 2016-03-30 |
分类号 | C30B29/20(2006.01)I;C30B15/14(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 张会选;李庆跃;李凯;徐峰 | 申请(专利权)人 | 黄山市东晶光电科技有限公司 |
代理机构 | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 黄山市东晶光电科技有限公司 |
地址 | 245200 安徽省黄山市屯溪区迎宾大道168号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种全自动数控稳定热场系统装置,其特征在于:包括控制器,用于安置坩埚的炉体,设置在炉体上部的上隔热屏,以及安装在上隔热屏上用于控制上隔热屏升降的第一调节装置,所述控制器与第一调节装置相连接,用于根据炉体内晶体的重量变化控制上隔热屏的升降。本实用新型通过控制器对炉体内晶体重量变化进行实时监测,并驱动第一调节装置带动上隔热屏进行升降,实现了对炉体内垂直温度梯度的有效调整,大大降低了退火难度,与此同时降低了退火周期和晶体热应力,使得蓝宝石单晶的报废率得到大幅度降低。 |
