清洁设备
基本信息
| 申请号 | CN202010492589.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113751384A | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN113751384A | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | B08B1/04（2006.01）I;B08B1/00（2006.01）I;B08B5/04（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 纠松涛;罗曙霖;向森;王松 | 申请（专利权）人 | 中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司 |
| 代理机构 | 北京市一法律师事务所 | 代理人 | 刘荣娟 |
| 地址 | 518000广东省深圳市坪山新区出口加工区高芯路18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种清洁设备。所述清洁设备可以包括基座、移动构件以及清洁装置。进一步地，所述清洁装置可以包括清洁头和吸除装置。所述移动构件带动所述清洁头沿待清洁表面的目标方向移动。所述清洁头清扫所述待清洁表面上的颗粒。所述吸除装置通过所述清洁头上的孔将所述清洁头清扫下来的颗粒吸除。在一些实施例中，所述清洁设备还可以包括第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置、传感器模块以及中央信息处理系统。所述清洁设备可以自动完成对掩膜台真空垫表面的清洁。 |
