一种控制散热器流量的三维异构模组制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202010588587.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111653490B | 公开（公告）日 | 2021-12-17 |
| 申请公布号 | CN111653490B | 申请公布日 | 2021-12-17 |
| 分类号 | H01L21/48（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 冯光建 | 申请（专利权）人 | 浙江集迈科微电子有限公司 |
| 代理机构 | 杭州天昊专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 董世博 |
| 地址 | 313100浙江省湖州市长兴县经济技术开发区陈王路与太湖路交叉口长兴国家大学科技园二分部北园8号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种控制散热器流量的三维异构模组制作方法，具体包括如下步骤：101）标尺制作步骤、102）TSV孔制作步骤、103）键合步骤；本发明提供能满足多种液体流速需求的一种控制散热器流量的三维异构模组制作方法。 |
