一种半导体生产用晶圆清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202023006087.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214262949U | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN214262949U | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | B08B3/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 张绍江;朱浩哲;熊剑波 | 申请（专利权）人 | 聚芯芯片科技（常州）股份有限公司 |
| 代理机构 | 常州市科谊专利代理事务所 | 代理人 | 孙彬 |
| 地址 | 213000江苏省常州市天宁区青洋北路143号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种半导体生产用晶圆清洗装置，包括基座，所述基座的顶部固定连接有箱体，所述箱体的顶部和基座的顶部之间设置有自动清洗装置，所述自动清洗装置包括驱动座和第一水箱，所述驱动座的内腔均对称转动套接有丝杆，所述驱动座的一端均对称固定连接有伺服电机，所述丝杆的表面均对称转动套接有移动板，所述移动板相对的一面固定连接有连通板，连通板的底部均对称固定设置有清洗头，第一水箱的顶部固定连接有水泵，水泵的输出端和输入端均对称固定联通有水管。本实用新型通过自动清洗装置，解决现有的晶圆都是通过人工来进行一个一个的清洗，人工清洗的方式会比较慢，一次只能清洗一个，无法对多个晶圆进行清洗的问题。 |
