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一种用于解决硅片背面圈印的刷洗装置以及使用方法

基本信息

申请号 CN201910321407.7 申请日 -
公开（公告）号 CN110112082A 公开（公告）日 2019-08-09
申请公布号 CN110112082A 申请公布日 2019-08-09
分类号 H01L21/67;H01L21/02 分类 基本电气元件;
发明人 张世波;周明飞;徐国科;胡孟君;高鹏飞;卢峰;刘建刚;田达晰 申请（专利权）人 金瑞泓科技（衢州）有限公司
代理机构 上海泰能知识产权代理事务所 代理人 王亮
地址 324000 浙江省衢州市绿色产业集聚区盘龙南路52号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种用于解决硅片背面圈印的刷洗装置以及使用方法，包括转轴、pp支架和背面刷，pp支架呈圆盘状，pp支架的下端中部竖直安装有转轴，转轴中空，pp支架上端安装有背面刷，背面刷包括不锈钢圆盘和聚氨酯耐磨海绵，不锈钢圆盘下端与pp支架固定，不锈钢圆盘上端安装有相配的聚氨酯耐磨海绵，聚氨酯耐磨海绵呈圆盘状，pp支架以及不锈钢圆盘内部设置有溢流通道，溢流通道一端与转轴上端的开口处相连，溢流通道另一端与聚氨酯耐磨海绵相连。本发明机械手吸附硅片正面，硅片背面与背面刷接触，然后缓慢通过旋转的背面刷，刷洗掉减薄后残留在硅片背面边缘圈印状的划伤和沾污。