一种光刻胶组合物及其用途
基本信息
| 申请号 | CN202110691354.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113485072A | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN113485072A | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | G03F7/004（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 刁翠梅;李冰;张咪;王双双;陈昕;王文芳;董栋;张宁 | 申请（专利权）人 | 彤程新材料集团股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京柏杉松知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 高敏;刘继富 |
| 地址 | 101312北京市顺义区竺园路4号（天竺综合保税区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种光刻胶组合物及其用途，该光刻胶组合物，以重量份计，包括以下成分：酚醛树脂10‑50份、感光剂1‑10份、塑化剂0.1‑5份、添加剂0.1‑5份和有机溶剂40‑100份，添加剂包括结构式（I）所示化合物中的至少一种。将本申请的光刻胶作为G线光刻胶或I线光刻胶使用，具有较低的回流温度，能避免高温对器件造成不利影响，在较低的温度下迅速回流形成形貌良好的微镜阵列，可用于对温度要求苛刻的生产工艺中。而且较小尺寸、或者较大高宽比的图形也能回流成形貌良好的微镜阵列。 |
