一种光刻胶用酚醛树脂及其制备方法
基本信息
申请号 | CN202110910692.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113461885A | 公开(公告)日 | 2021-10-01 |
申请公布号 | CN113461885A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
分类号 | C08G8/24(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I | 分类 | 有机高分子化合物;其制备或化学加工;以其为基料的组合物; |
发明人 | 张洁;纪爱亮;王光辉;张成;王文芳;董栋;张宁 | 申请(专利权)人 | 彤程新材料集团股份有限公司 |
代理机构 | 北京维正专利代理有限公司 | 代理人 | 李爱民 |
地址 | 102600北京市大兴区北京经济技术开发区科创十四街20号院10号楼1至4层3 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请涉及光刻胶技术领域,具体公开了一种光刻胶用酚醛树脂及其制备方法。所述制备方法包括制备步骤和纯化步骤,制备步骤:单羟基甲酚、多羟基苯酚和醛类化合物在酸性催化剂和水的条件下进行反应,得到反应液;纯化步骤:首先中和剂中和反应液,并分出水相;然后进行水洗处理,并分出水相;最后在35~80℃温度下进行干燥,得到光刻胶用酚醛树脂。所述光刻胶用酚醛树脂是由上述制备方法制备而得。本申请通过在酚醛树脂的结构中适当引入多羟基苯酚,提高酚醛树脂的耐热性,进而提高光刻胶的感光灵敏度、分辨率和反差,同时还可以调节酚醛树脂的碱溶解速率。 |
