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介质隔离式压力传感器及其制造方法

基本信息

申请号 CN202110886175.7 申请日 -
公开（公告）号 CN113483944A 公开（公告）日 2021-10-08
申请公布号 CN113483944A 申请公布日 2021-10-08
分类号 G01L19/14（2006.01）I;G01L19/06（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 张兵兵 申请（专利权）人 昆山灵科传感技术有限公司
代理机构 上海盈盛知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 孙佳胤;高翠花
地址 215300 江苏省苏州市昆山开发区前进东路88号6号楼M1A栋2楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种介质隔离式压力传感器及其制造方法，介质隔离式压力传感器包括：基板；壳体，包括侧壁及顶盖，所述侧壁与所述顶盖密封连接，所述侧壁由硬质材料制成，所述顶盖由柔性材料制成，所述壳体扣合在所述基板上，形成容纳腔；至少一压力传感器芯片，固定在所述基板上，且置于所述容纳腔内；介质液体，充满所述容纳腔，外界压力能够通过所述壳体、所述介质液体传导至所述压力传感器芯片。本发明的优点在于，壳体包括由硬质材料构成的侧壁及柔性材料构成的顶盖，能够平衡测量精度及支撑力，兼顾了可靠性，也保证了介质隔离式压力传感器的输出，能够避免单一壳体材质带来的缺点，大大提高了介质隔离式压力传感器的性能。