连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线
基本信息
申请号 | CN200920037431.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN201390781Y | 公开(公告)日 | 2010-01-27 |
申请公布号 | CN201390781Y | 申请公布日 | 2010-01-27 |
分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 杨建如;杨建强;杨建栋;杨建丰 | 申请(专利权)人 | 江苏常松机械集团有限公司 |
代理机构 | 常州市维益专利事务所 | 代理人 | 江苏常松机械集团有限公司;常州捷顺复合材料有限公司 |
地址 | 213023江苏省常州市钟楼区经济开发区星港路CI地块 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及金属镀膜技术领域,尤其是一种用于金属镀膜的连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线,具有入口、真空复合装置和出口,真空复合装置包括真空室,真空室内依次设置进口真空锁、加热系统、反溅射去污系统、离子束活化系统、真空蒸发离子复合系统和出口真空锁,真空复合装置由电控系统控制,加热系统和真空蒸发离子复合系统内设置有排气系统。本实用新型的优点是降低了能耗,提高了复合的效率。 |
