连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线
基本信息
| 申请号 | CN200910031800.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101608301B | 公开（公告）日 | 2011-12-07 |
| 申请公布号 | CN101608301B | 申请公布日 | 2011-12-07 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 杨建如;杨建强;杨建栋;杨建丰 | 申请（专利权）人 | 江苏常松机械集团有限公司 |
| 代理机构 | 常州市维益专利事务所 | 代理人 | 江苏常松机械集团有限公司;常州捷顺复合材料有限公司 |
| 地址 | 213023 江苏省常州市钟楼区经济开发区星港路CI地块 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及金属镀膜领域，尤其是一种连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线，具有真空室，真空室包括入口段、工艺段和出口段，工艺段依次包括进口锁段、加热预抽段、反溅射去污段、离子束活化段、等离子体复合段和出口锁段，进口锁段设置有进口真空锁，加热预抽段设置有加热系统和排气系统，反溅射去污段设置有反溅射去污系统，离子束活化段设置有离子束活化系统，等离子体复合段设置有真空蒸发离子复合系统、进气系统和排气系统，出口锁段设置有出口真空锁，真空蒸发离子复合系统设置有两个蒸发复合室。本发明的优点是降低了能耗，提高了复合的效率。 |
