一种气相外延系统及其维护操作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110845179.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113604874A | 公开（公告）日 | 2021-11-05 |
| 申请公布号 | CN113604874A | 申请公布日 | 2021-11-05 |
| 分类号 | C30B25/08（2006.01）I;C30B25/12（2006.01）I;C30B25/10（2006.01）I;C30B28/14（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 林桂荣 | 申请（专利权）人 | 楚赟精工科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 余明伟 |
| 地址 | 201400上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路665号三层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种气相外延系统，包括载盘支撑装置、盖体、反应室、供气系统及排气室，载盘支撑装置穿过盖体，盖体与载盘支撑装置连接；反应室包括内腔室和外腔室，内腔室为反应腔，内腔室设置于外腔室中；供气系统位于反应室的一端部；内腔室包括第一分体和第二分体，第一分体靠近供气系统，第二分体远离供气系统；排气室与外腔室堆叠设置，排气室与外腔室密封隔离，内腔室与排气室连接；排气室远离供气系统的一端设有开口，内腔室可移动地设置于外腔室和排气室中。本发明通过引入具有分体结构的内腔室以及升降结构，可以在维护时只需更换内腔室的分体部分，无需整管更换，便于设备维护，可简化维护流程，提高设备稼动率和良率。 |
