一种气相外延系统及其维护操作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110845193.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113604875A | 公开（公告）日 | 2021-11-05 |
| 申请公布号 | CN113604875A | 申请公布日 | 2021-11-05 |
| 分类号 | C30B25/08（2006.01）I;C30B25/12（2006.01）I;C30B25/10（2006.01）I;C30B29/40（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 林桂荣 | 申请（专利权）人 | 楚赟精工科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 余明伟 |
| 地址 | 201400上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路665号三层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种气相外延系统及其维护操作方法。外延系统包括载盘支撑装置、载盘、第一盖体、第二盖体、内腔室、外腔室、排气室；载盘支撑装置穿过第一盖体和第二盖体，第一盖体与载盘支撑装置连接；载盘设置于载盘支撑装置的顶部；内腔室的一端设有供气系统，另一端设有开口，载盘支撑装置可移动地设置于内腔室中；外腔室设于内腔室外部；排气室与外腔室堆叠设置，设于外腔室的一端，排气室与外腔室密封隔离，内腔室与排气室连通；排气室远离供气系统的一端设有开口，内腔室可移动地设置于外腔室和排气室中。本发明的气相外延系统通过引入内腔室和载盘支撑装置的双升降结构，简化了维护流程，提高了设备稼动率和良率。 |
