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一种高速高精旋转升降联动机构

基本信息

申请号	CN201711078934.7	申请日	-
公开（公告）号	CN107991595B	公开（公告）日	2020-12-04
申请公布号	CN107991595B	申请公布日	2020-12-04
分类号	G01R31/26	分类	测量；测试;
发明人	吴涛;娄玉仙	申请（专利权）人	广州高谱技术有限公司
代理机构	广州三环专利商标代理有限公司	代理人	广州高谱技术有限公司;汕头大学
地址	510000 广东省广州市黄埔区瑞和路39号H3座701至728号
法律状态	-

摘要

本发明实施例公开了一种高速高精旋转升降联动机构，包括下升降机构与上旋转机构，所述下升降机构包括升降驱动装置、丝杆、丝杆座，所述升降驱动装置驱动所述丝杆带动所述丝杆座升降；所述上旋转机构包括旋转轴承、与所述丝杆座固定连接的旋转轴承座、设置于所述旋转轴承座与所述基座之间的至少一个垂直滑轨机构，所述旋转轴承连接有旋转大同步轮，所述旋转大同步轮由旋转驱动装置驱动。本发明采用升降轴在下方，旋转在上方的结构形式，充分利用了晶圆检测工艺中升降为主动作，旋转为辅动作的工艺特点；本发明还利用倒置驱动的丝杆螺母方法，轴向精度控制面取决于配对使用的轴向滑轨，易于实现大尺寸晶圆的平面度控制，有效地改善了整体系统的控制特性。