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宽光谱干涉显微测量方法、装置、电子设备及介质

基本信息

申请号 CN202210160959.6 申请日 -
公开（公告）号 CN114608472A 公开（公告）日 2022-06-10
申请公布号 CN114608472A 申请公布日 2022-06-10
分类号 G01B11/24（2006.01）I;G01B11/06（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 张为国;孙艳林;熊欣;邓晓洲;杜春雷 申请（专利权）人 珠海迈时光电科技有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 -
地址 519000广东省珠海市香洲区珠海大道4333号7栋1层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种宽光谱干涉显微测量方法、装置、电子设备及介质，该宽光谱干涉显微测量方法包括：获取待测样品的干涉图；确定干涉图的调制度，通过调制度标识干涉图的第一区域，第一区域用于表征符合设定阈值的相位展开区域；对第一区域执行相位展开，得到干涉图多个焦面的真实相位图；对多个焦面的真实相位图相位拼接，得到干涉图的相位分布；根据相位分布确定待测样品的表面高度分布。本发明的有益效果为：以干涉条纹调制度量化条纹质量，以相位展开方法获得在设定区域的样品高度分布；将不同焦面位置获取的样品高度进行拼接，可获得扩展量程的高精度形貌测量结果，适用用于高精度、大量程宽光谱干涉显微测量。