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光刻机照度均匀度的检测方法

基本信息

申请号	CN201911018556.2	申请日	-
公开（公告）号	CN110824859A	公开（公告）日	2020-02-21
申请公布号	CN110824859A	申请公布日	2020-02-21
分类号	G03F7/20	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	王乡	申请（专利权）人	珠海迈时光电科技有限公司
代理机构	广州嘉权专利商标事务所有限公司	代理人	叶琦炜
地址	519000 广东省珠海市香洲区南屏科技工业园屏东六路1号9号楼第二层205、206房
法律状态	-

摘要

本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种光刻机照度均匀度的检测方法，够对照面的照度均匀度进行快速地精准检测。本发明包括以下步骤：S100、选取m×m个探测器单元，以其中一个探测器单元作为基准探测器单元对其余探测器单元的输出电压值进行修正；S200、将m×m个探测器单元以m×m的阵列方式均匀分布于光刻机的照面上；S300、启动光刻机的照明系统，m×m个探测器单元分别测量照面对应不同点的光功率值，得到对应的m×m个电压值；S400、在m×m个电压值中选取最大电压值U_max和最小电压值U_min并代入照度均匀度计算公式中，得出当前光功率值下的照度均匀度。本发明通过阵列式的检测方法有效地提高了检测效率，同时对探测器单元进行统一地修正，有效地提高了检测结果的精准度。