光功率检测装置
基本信息
| 申请号 | CN201921806737.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210833862U | 公开（公告）日 | 2020-06-23 |
| 申请公布号 | CN210833862U | 申请公布日 | 2020-06-23 |
| 分类号 | G01J1/44(2006.01)I;G01J1/04(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 王乡 | 申请（专利权）人 | 珠海迈时光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 叶琦炜 |
| 地址 | 519000广东省珠海市香洲区南屏科技工业园屏东六路1号9号楼第二层205、206房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及光功率检测技术领域，公开了一种光功率检测装置，能够提高检测效率。本实用新型包括若干个十字型的支架，以阵列分布地方式相互拼接；若干个探头，分别固定于每一个所述支架的中部上；数据处理系统，分别与每一个所述探头电性连接。本实用新型利用若干个相互拼接而成的支架，可在光刻机的照面上同时实现多点检测，同时支架采用相同的尺寸，可使相邻的探头距离相同，从而使探头可均匀地分布于光刻机的照面上，从而可检测出光刻机照面上的光功率值的分布情况，此外，由于支架之间采用拼接的方式，可方便用户将本实用新型进行收纳或组装，提高了便利性。 |
