掩膜装置
基本信息
| 申请号 | CN201921634873.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210514931U | 公开（公告）日 | 2020-05-12 |
| 申请公布号 | CN210514931U | 申请公布日 | 2020-05-12 |
| 分类号 | G03F1/64 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王乡 | 申请（专利权）人 | 珠海迈时光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 叶琦炜 |
| 地址 | 519000 广东省珠海市香洲区南屏科技工业园屏东六路1号9号楼第二层205、206房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及显示面板曝光技术领域，公开了一种掩膜装置，解决了无需取下掩膜架，则可实现掩膜板的直接更换。本实用新型包括：掩膜架，设有用于吸附待加工件的真空吸附孔；框架，与所述掩膜架转动连接，使所述掩膜架在所述框架内翻转。本实用新型利用掩膜架与框架的转动连接，可使掩膜架直接在框架上实现翻转，则在更换待加工件时，无需将掩膜架取下，只要翻转掩膜架，即可在框架上对待加工件进行更换，不仅简化了待加工件更换的操作流程，同时还可避免对掩膜架造成污染，避免了影响成品质量，从而提高了成品合格率。 |
