多功能硅压阻复合传感器
基本信息
| 申请号 | CN200420120116.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN2767983Y | 公开（公告）日 | 2006-03-29 |
| 申请公布号 | CN2767983Y | 申请公布日 | 2006-03-29 |
| 分类号 | G01L13/06(2006.01);G01L1/18(2006.01);G01K7/24(2006.01) | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 郑永辉;陈信琦;唐慧;孙海玮;刘辉;史云肖;孙烈鹏 | 申请（专利权）人 | 中国石油兰州炼油化工总厂 |
| 代理机构 | 北京市中实友知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 中国石油天然气集团公司;中国石油兰州炼油化工总厂;沈阳仪表科学研究院 |
| 地址 | 100724北京市西城区六铺炕6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种多功能硅压阻复合传感器主要由硅敏感芯片、双抛玻璃、导压管、基座组成，其特征在于硅敏感芯片7是指在双面抛光的N型硅单晶片的正面注入硼形成P型差压敏感电桥1、静压敏感电桥2，并在两电桥联接处置有温度敏感元件3，硅敏感芯片的差压敏感电桥1能感受到传感器两端的压差，而静压敏感电桥2只能感受到正压端的压力。多功能硅压阻复合传感器是研发高精度、智能化压力变送器的核心技术与基础部件。通过多功能传感器同时测量差压、静压和温度并通过微处理器对静压和温度影响进行补正，实现对压力或差压测量的高精度、高稳定性。 |
