一种蒸发镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN201820903834.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207987320U | 公开（公告）日 | 2018-10-19 |
| 申请公布号 | CN207987320U | 申请公布日 | 2018-10-19 |
| 分类号 | C23C14/24;C23C14/54 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈腾;王雪戈 | 申请（专利权）人 | 江苏盐城格莱宝装备科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司;江苏盐城格莱宝装备科技有限公司 |
| 地址 | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种蒸发镀膜装置，属于真空蒸镀领域。该蒸发镀膜装置包括：腔体、设置在腔体内的加热器，腔体的顶壁上设置有多个出气孔。此外，该蒸发镀膜装置还包括：与出气孔连通的排气件，排气件沿待蒸镀物体的长度方向均匀设置有多个与待蒸镀物体相对的蒸镀孔。设置在排气件上的多个调节件，该调节件用于调节蒸镀孔的开度。本实用新型提供的蒸发镀膜装置，在节约成本的同时，可以不断调整蒸镀孔的开度，进而调整每个蒸镀孔的蒸汽排量，使待蒸镀物体表面的膜层厚度保持一致，即，使喷射至待蒸镀物体表面的蒸汽更加均匀。 |
