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一种反应腔装置

基本信息

申请号 CN202023184490.5 申请日 -
公开（公告）号 CN213583696U 公开（公告）日 2021-06-29
申请公布号 CN213583696U 申请公布日 2021-06-29
分类号 H01J37/32;H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 邱勇;吴堃;张鹏兵;陈世名 申请（专利权）人 上海谙邦半导体设备有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 201306 上海市浦东新区环湖西二路888号C楼
法律状态 -

摘要

摘要 一种反应腔装置，包括：反应腔主体；位于所述反应腔主体内的晶圆承载平台，所述晶圆承载平台的表面适于放置晶圆；环绕所述晶圆承载平台的缓冲环，所述缓冲环适于在垂直于晶圆承载平台上表面的方向上进行移动。所述反应腔装置能够调节整个晶圆表面反应速率的均匀性。