一种腔内晶圆寻心系统
基本信息
| 申请号 | CN202022645745.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213242521U | 公开（公告）日 | 2021-05-18 |
| 申请公布号 | CN213242521U | 申请公布日 | 2021-05-18 |
| 分类号 | H01L21/68;H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 邱勇;张鹏兵;陈世名 | 申请（专利权）人 | 上海谙邦半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201306 上海市浦东新区环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种腔内晶圆寻心系统，包括：主体腔；位于主体腔内的晶圆夹持平台，晶圆夹持平台的表面适于放置晶圆；贯穿晶圆夹持平台的若干位移孔；分别位于位移孔中的顶针，顶针适于在位移孔中往复移动，使顶针的顶头在高于晶圆夹持平台的上表面的位置至低于晶圆夹持平台的上表面的位置之间变化；若干光学定位单元，各个光学定位单元包括：光学探测部件；光学接收部件，光学探测部件适于向光学接收部件发射探测光，探测光适于部分照射在主体腔中的晶圆的边缘；修正单元，修正单元适于根据光学接收部件获取的光信息修正晶圆的位置。所述腔内晶圆寻心系统能够精确定位晶圆在主体腔中的位置，提高工艺重复性。 |
