一种三级蒸发高速卷对卷真空锂薄膜生产装置
基本信息
| 申请号 | CN201911359791.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111058000A | 公开（公告）日 | 2020-04-24 |
| 申请公布号 | CN111058000A | 申请公布日 | 2020-04-24 |
| 分类号 | C23C14/14;C23C14/24;C23C14/56;C23C14/54 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李立飞 | 申请（专利权）人 | 复阳固态储能科技（溧阳）有限公司 |
| 代理机构 | 天津企兴智财知识产权代理有限公司 | 代理人 | 复阳固态储能科技（溧阳）有限公司 |
| 地址 | 213300 江苏省常州市溧阳市昆仑街道创智路23号101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种三级蒸发高速卷对卷真空锂薄膜生产装置，包括机架，所述的机架内设置有第一隔板与第二隔板，第一隔板与第二隔板均纵向设置，所述的第一隔板与第二隔板上均设置有一个位置相对应的窗口，所述的第一隔板与第二隔板将所述的机架的内部依次分隔为放卷腔、第一镀膜腔、收卷腔，基膜通过所述的窗口自放卷腔穿行至收卷腔。本发明所述的三级蒸发高速卷对卷真空锂薄膜生产装置通过三级蒸发结构的蒸发系统完成输运及蒸发锂，改善沉积锂薄膜的高温度现象与薄膜的均匀性。 |
