芯片CP测试中DELP系列探针台驱动配置方法
基本信息
| 申请号 | CN202011515315.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112666448A | 公开（公告）日 | 2021-04-16 |
| 申请公布号 | CN112666448A | 申请公布日 | 2021-04-16 |
| 分类号 | G01R31/28 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王锐;娄建和;吴彩平 | 申请（专利权）人 | 江苏艾科半导体有限公司 |
| 代理机构 | 南京申云知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 田沛沛;邱兴天 |
| 地址 | 212000 江苏省镇江市潘宗路166号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种芯片CP测试中DELP系列探针台驱动配置方法，包括归类针卡分布图，为每一类分布图配置对应的驱动程序；根据归类情形制作包含所有驱动程序的列表和批处理文件；执行批处理文件，选择驱动程序编号，批处理程序则自动向测试机主机操作系统注册所用的探针台驱动；空跑CP测试，得到探针台晶芯坐标和测试机晶芯坐标，进行坐标比对，确认无误后，进行晶圆CP量产测试。采用本发明的驱动配置方法，可保证CP测试坐标完全匹配、测试机台从探针台可获取正确的晶圆位置坐标，进而可以正常进行芯片晶圆的CP测试；采用一个批处理即可处理9类驱动注册的方式，简化了操作人员的操作，且节省测试成本。 |
