光电探测装置的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202010471029.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111628034A | 公开（公告）日 | 2020-09-04 |
| 申请公布号 | CN111628034A | 申请公布日 | 2020-09-04 |
| 分类号 | H01L31/101(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐青;张玺;王麟;尼古拉达申佐;谢庆国 | 申请（专利权）人 | 湖北京邦科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 436044湖北省鄂州市梧桐湖新区东湖高新科技创意城A03栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种光电探测装置的制造方法，其包括：在所制备的衬底上生长出外延层，其中，外延层和衬底均呈第一导电类型；在外延层中的远离衬底的一侧形成呈与第一导电类型相反的第二导电类型的第一掺杂区和第二掺杂区以及呈第一导电类型的第三掺杂区，其中，第二掺杂区位于第一掺杂区与所述第三掺杂区之间；在外延层的一侧上方形成分别与第一掺杂区、第二掺杂区以及第三掺杂区连接的第一焊盘、第二焊盘以及第三焊盘以获得对应的电极。通过利用本申请提供的技术方案，可以提供适合于对波长较长的光子进行探测的装置。 |
