光电探测装置的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202010471023.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111628033A | 公开（公告）日 | 2020-09-04 |
| 申请公布号 | CN111628033A | 申请公布日 | 2020-09-04 |
| 分类号 | H01L31/101(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张玺;徐青;王麟 | 申请（专利权）人 | 湖北京邦科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 436044湖北省鄂州市梧桐湖新区东湖高新科技创意城A03栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种光电探测装置的制造方法，包括：在所制备的第一衬底上生长出外延层，在外延层中的远离第一衬底的一侧形成第一掺杂区、第二掺杂区以及第三掺杂区，其中，第二掺杂区位于第一掺杂区与第三掺杂区之间；在外延层的一侧上方形成反射结构；对第一衬底进行处理以露出外延层中的另一侧；对另一侧进行掺杂处理以形成第四掺杂区；在第四掺杂区下方制备与第一掺杂区、第二掺杂区以及第三掺杂区分别连接的第一焊盘、第二焊盘以及第三焊盘以获得对应的电极。通过利用本申请提供的技术方案，可以提供适合于对波长较长的光子进行探测的装置。 |
