一种陶瓷材料切割液

基本信息

申请号 CN202011594383.1 申请日 -
公开(公告)号 CN112680272A 公开(公告)日 2021-04-20
申请公布号 CN112680272A 申请公布日 2021-04-20
分类号 C10M173/02;C10N30/04 分类 石油、煤气及炼焦工业;含一氧化碳的工业气体;燃料;润滑剂;泥煤;
发明人 侯军;褚雨露 申请(专利权)人 江苏奥首材料科技有限公司
代理机构 大连星海专利事务所有限公司 代理人 杨翠翠
地址 116000 辽宁省大连市高新区高能街125号云计算中心
法律状态 -

摘要

摘要 一种陶瓷材料切割液,属于光电子器件的表面精密加工领域。在陶瓷材料切割过程中,刀片高速旋转与陶瓷表面剧烈摩擦,产生的静电荷在表面上累积。切割产生的碎屑会被吸附在表面,导致后续无法清洗干净。该切割液的低聚皂化合物在溶液中电离形成负电荷基团,其同时还具有类似表面活性剂的两亲性结构,使其能够在晶圆表面形成定向排列的吸附层,其带有负电荷的基团朝外,与带有负电荷的硅碎屑之间形成斥力,从而阻挡硅碎屑与陶瓷表面直接接触,避免了碎屑对陶瓷造成的污染。