一种半导体芯片清洗剂及制备方法与应用
基本信息
| 申请号 | CN202010995984.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112266832B | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN112266832B | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | C11D1/831;C11D3/18;C11D3/20;C11D3/28;C11D3/30;C11D3/60;H01L21/02;H01L21/67 | 分类 | 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛; |
| 发明人 | 吕晶;侯军 | 申请（专利权）人 | 江苏奥首材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京至臻永信知识产权代理有限公司 | 代理人 | 彭晓玲;张宝香 |
| 地址 | 215523 江苏省苏州市常熟碧溪新区万和路39号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种半导体芯片清洗剂，其包括润湿剥离剂和全氟端基聚氧乙烯醚构成的润湿剥离组合物，还可包含渗透剂、增溶剂、复合功能剂、含氮络合剂、有机助剂和超纯水，还提供了其制备方法、用途和半导体芯片的清洗方法。所述清洗剂通过包含特定组分组成的润湿剥离组合物，以及渗透剂、复合功能剂和含氮络合剂的优选组合与协同，从而取得了优异的技术效果，在半导体芯片清洗技术领域具有良好的工业应用前景和推广潜力。 |
