一种具有硅片裸露报警功能的插片机

基本信息

申请号 CN202021947341.7 申请日 -
公开(公告)号 CN212903245U 公开(公告)日 2021-04-06
申请公布号 CN212903245U 申请公布日 2021-04-06
分类号 G01D5/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 朱兴华;杜爱强;沈习部;张礼东;顾宝强 申请(专利权)人 高佳太阳能股份有限公司
代理机构 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 代理人 聂启新
地址 214174江苏省无锡市堰桥镇堰丰路168号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及硅片插片技术领域,尤其为一种具有硅片裸露报警功能的插片机,包括支撑柱、传送平台和L型板,所述支撑柱的顶端与传送平台的底端固定连接,所述传送平台的顶端设置有硅片,所述传送平台的两端固定连接有螺杆,所述L型板的顶端设置有连接座,所述连接座的顶端固定连接有对射感应器,本实用新型中,通过设置的对射感应器等构件,可以使得片盒进入清洗机前,设置的对射感应器可以对硅片的高度进行对射检测,当对射感应器感受到硅片超高时,对射感应器会通过控制器控制报警器工作,此时,工作人员可以人为的将硅片插入底部,保证清洗过程中硅片不会露出水面,从而保证硅片清洗彻底,减少脏片的产生,具有很好的实用性。