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超大载片量石英舟

基本信息

申请号 CN202021711244.8 申请日 -
公开（公告）号 CN212648198U 公开（公告）日 2021-03-02
申请公布号 CN212648198U 申请公布日 2021-03-02
分类号 H01L21/673(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 兰锋 申请（专利权）人 浙江泓芯半导体有限公司
代理机构 浙江永鼎律师事务所 代理人 陆永强
地址 324000浙江省衢州市柯城区航埠镇通航一路3号1幢、2幢、3幢
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种超大载片量石英舟，包括侧板、定位块、伸缩杆、压挡板、硅片置板、弹性安装柱与底板，侧板设置于若干硅片置板的两侧，定位块与伸缩杆活动连接，伸缩杆的一端贯穿侧板设置于定位块的右端，伸缩杆的另一端与压挡板固定连接，压挡板贴合设置于硅片置板上，硅片置板设置有若干个，弹性安装柱固定设置于各硅片置板之间，底板设置于最底端硅片置板的底部，可通过在侧板之间增加硅片置板数量，进而提高承载硅片量。本实用新型通过硅片置板、弹性安装柱与侧板的配合使用，有效提高硅片置板可承载硅片数量，安装稳定，可承载不同形状的硅片，且能够保护硅片，不易破损。