可自动插片的菱形石英舟
基本信息
| 申请号 | CN202021712311.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212648200U | 公开（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申请公布号 | CN212648200U | 申请公布日 | 2021-03-02 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 兰锋 | 申请（专利权）人 | 浙江泓芯半导体有限公司 |
| 代理机构 | 浙江永鼎律师事务所 | 代理人 | 陆永强 |
| 地址 | 324000浙江省衢州市柯城区航埠镇通航一路3号1幢、2幢、3幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种可自动插片的菱形石英舟，包括限位齿槽、连接挡板、固定板、侧垫、插片机、自动安插杆以及顶板，所述限位齿槽设置于连接挡板的左侧，所述连接挡板设置于固定板的左侧，所述侧垫设置于固定板的上下两端，所述插片机通过自动安插杆固定设置于固定板的右侧，所述顶板设置于插片机的右侧，使用时，通过限位齿槽的内部设置的矫正感应器进行精确对位硅片，利用插片机实现了石英舟可以自动化插片，不需要在进行手工插片，同时上下两侧的侧垫保护硅片，提高自动插片的使用安全度。本实用新型可以通过插片机部件实现自动化插片，同时可利用具有矫正感应器的限位齿槽进行插片角度的矫正，提高自动化插片的精度，进而提高插片效率。 |
